Установка вакуумного физического напыления PVD 75 (Kurt J. Lesker, США)

Установка вакуумного физического напыления Kurt Lesker PVD 75 для создания поверхностных наноструктур. 

Особенности:

  • Вакуумная камера из нержавеющей стали объемом 75 литров, рассчитанная для работы с уровнем вакуума 10-8 торр
  • Криогенный насос обеспечивающий выход на уровень вакуума 5х10-7 торр
  • Форвакуумный безмасляный насос со скоростью откачки 13,4 м3
  • Термический испаритель
  • Электронно-лучевой испаритель (5 кВт)
  • Два кварцевых окна для проведения оптических измерений и управления процессами осаждения
  • Рабочая станция на базе персонального компьютера со специализированным программным обеспечением для управления процессами напыления.