Установка вакуумного физического напыления PVD 75 (Kurt J. Lesker, США)
Установка вакуумного физического напыления Kurt Lesker PVD 75 для создания поверхностных наноструктур.
Особенности:
- Вакуумная камера из нержавеющей стали объемом 75 литров, рассчитанная для работы с уровнем вакуума 10-8 торр
- Криогенный насос обеспечивающий выход на уровень вакуума 5х10-7 торр
- Форвакуумный безмасляный насос со скоростью откачки 13,4 м3/ч
- Термический испаритель
- Электронно-лучевой испаритель (5 кВт)
- Два кварцевых окна для проведения оптических измерений и управления процессами осаждения
- Рабочая станция на базе персонального компьютера со специализированным программным обеспечением для управления процессами напыления.